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Untersuchungen zur Gestaltung integrierter Mehrkoordinatenantriebe
Author: Schäffel, Christoph
Published: 1996
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Entwurf von Antriebsmodulen für Mehrkoordinatenbewegungen, in: VDI-Berichte, Innovative Kleinantriebe
Author: Saffert, Eugen; Kallenbach, Eberhard; Schäffel, Christoph
Published: 1996
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Untersuchungen zur erreichbaren Positionierunsicherheit bei elektrodynamischen Direktantrieben mit aerostatischer Führung, in: 50. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Hesse, Steffen; Schäffel, Christoph; Mohr, Hans-Ulrich; Katzschmann, Michael
Published: 2005
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Novel Precision Positioning System with Integrated Planar Guides, in: IWK - Internationales wissenschaftliches Kolloquium // Technische Universität Ilmenau; Tagungsband, 53. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Hild, Wolfram; Mollenhauer, Olaf; Guddei, Bernhard; Spiller, Sabine; Schäffel, Christoph; Katzschmann, Michael; Spiller, Frank
Published: 2008
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Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Schäffel, Christoph; Michael, S.; Paris, R.; Frank, A.; Zeike, N.; Gastinger, K.; Kujawinska, M.; Zeitner, U.; Beer, S.
Published: 2011
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Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Hesse, S.; Schäffel, Christoph; Mohr, Hans-Ulrich; Büchner, Hans-Joachim
Published: 2011
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