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Analyse der Fehlerquellen und Verringerung der Störungsempfindlichkeit bei ausgewählten SFM-Sondenrekonstruktionsverfahren, in: 50. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Autor: Machleidt, Torsten; Franke, Karl-Heinz; Czerkas, Slawomir; Dirscherl, Kai; Bosse, H.
Erschienen: 2005
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Development of a reference field for a NPM-machine, in: 50. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Autor: Spieß, Lothar; Machleidt, Torsten; Cimalla, Volker; Gubisch, Maik; Ambacher, Oliver; Franke, Karl-Heinz
Erschienen: 2005
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A framework for optical sensors utilizing I++DME on nano positioning and nano measuring machines, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Autor: Sparrer, Erik; Machleidt, Torsten; Hausotte, Tino; Manske, Eberhard; Franke, Karl-Heinz
Erschienen: 2011
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Area based optical 2.5D sensors of a Nanopositioning and Nanomeasuring Machine, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Autor: Machleidt, Torsten; Sparrer, Erik; Manske, Eberhard; Kapusi, Daniel; Franke, Karl-Heinz
Erschienen: 2011
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