Quasi monolithic integration of Silicon-MEMS with piezoelectric actuators for High Speed non-contact Atomic Force Microscopy, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium

Allgemeine Angaben
Autor	Guliyev, Elshad; Volland, B.E.; Sarov, Y.; Ivanov, Tzv.; Klugowski, M.; Rangelow, I.W.; Manske, Eberhard
Erschienen	TU Ilmenau, Ilmenau, 2011
Ausgabe
Umfang
ISBN

Sammlungen

ab 2000

Übergeordnete Werke

56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium | 56. IWK - International Scientific Colloquium
Autor: Pufke, Michael; Hilbrunner, Falko; Diethold, Christian; Fröhlich, Thomas; Schalles, Marc; Blumröder, Götz; Augustin, Silke; Mammen, Helge; Irrgang, K.; Meiselbach, U.; Rizzuti, Sergio; Rosa, Raffaele; Tkatchenko, O.; Tkachenko, R.; Hirniak, Y.; Orest, Ivakhiv; Mushenyk, Petro; Böhm, V.; Jentzsch, Alexander; Kaufhold, Tobias; Schneider, F.; Zimmermann, Klaus; Wendt, Gudrun; Ahlers, Franz Josef; [...]
Erschienen: 2011

Verknüpfte Datensätze

Dokumente:

56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium

Permanentlinks

DMG-Lib		https://www.dmg-lib.org/dmglib/handler?docum=29516009
Europeana		http://www.europeana.eu/portal/record/2020801/dmglib_handler_docum_29516009.html

Datenbereitsteller

TU Ilmenau

http://www.tu-ilmenau.de

Verwaltungsinformationen

Publikationsdatum

2011

Folgen Sie uns

Newsletter

Quasi monolithic integration of Silicon-MEMS with piezoelectric actuators for High Speed non-contact Atomic Force Microscopy, in: 56. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium

Allgemeine Angaben