Justiereinrichtung für ein ionenoptisches Mikrostrukturierungssystem, in: Jahrbuch für Optik und Feinmechanik

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General information
Author	Steinbach, Manfred; Kirchhoff, Roland
Published	Optik-Verl., Görlitz, 2012
Edition
Extend	S. 153 - 163
ISBN

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2012

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