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Vertical nanopositioning of heavy mirrors
Author: Lotz, Markus; Hackel, Tobias; Frank, Thomas
Published: 2008
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Extremer Leichtbau von Messspiegeln für die interferometrische Positionsmessung, in: 50. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Frank, Thomas; Lotz, Markus; Hackel, Tobias; Theska, René; Höhne, Günter
Published: 2005
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Konstruktionsprinzipien zum Entwurf von Nanopositioniermaschinen, in: 50. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Lotz, Markus; Frank, Thomas; Hackel, Tobias; Höhne, Günter; Theska, René
Published: 2005
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Aktorintegrierte feinwerktechnische Funktionselemente, in: 50. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Author: Hackel, Tobias; Frank, Thomas; Lotz, Markus; Theska, René; Höhne, Günter
Published: 2005
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