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Polster, Tobias

 
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thumbnail of29335009 Aluminium nitride a smart multifunctional material for MEMS, in: IWK - Internationales wissenschaftliches Kolloquium // Technische Universität Ilmenau; Tagungsband, 53. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Auteur: Polster, Tobias; Albrecht, Arne; Weinberger, Stefan; Hoffmann, Martin
Publié: 2008
 
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