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Justiereinrichtung für ein ionenoptisches Mikrostrukturierungssystem, in: Jahrbuch für Optik und Feinmechanik


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Informations générales

Auteur Steinbach, Manfred; Kirchhoff, Roland
Publié  Optik-Verl., Görlitz, 2012
Edition  
Extension  S. 153 - 163
ISBN
Collections
Articles de journal
2000 et après
Permanent links
DMG-Lib FaviconDMG-Lib https://www.dmg-lib.org/dmglib/handler?docum=29742009
Data provider
ITUIlmenau TU  http://www.tu-ilmenau.de
Administrative information
Time of publication 2012

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