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Friedrich, T.

 
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thumbnail of29232009 Characterization of anti stiction coatings by adhesion force measurement, in: IWK - Internationales wissenschaftliches Kolloquium // Technische Universität Ilmenau; Tagungsband, 53. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium
Auteur: Friedrich, T.; Raudzis, Carsten; Müller-Fiedler, Roland
Publié: 2008
 
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