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Böhm, Stefan |
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Böhm, Stefan
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Adhesive bonding of MEMS and MOEMS with support of substrate inherent functional structures, in: IWK - Internationales wissenschaftliches Kolloquium // Technische Universität Ilmenau; Tagungsband, 53. IWK - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium Autore: Wagner, Mario; Böhm, Stefan; Dilger, Klaus Pubblicato: 2008 |
 DMG-Lib |
 https://www.dmg-lib.org/dmglib/handler?biogr=21156004 |
